В России испытали проект многолучевого литографа

В России разработали и протестировали ключевой узел для многолучевого литографа — мультикатод, который формирует сразу множество электронных лучей. Такая схема должна резко сократить время экспонирования подложки: вместо сроков до двух недель у обычного однолучевого литографа речь идет о 5–7 минутах.

Что сделали

Проект создан при поддержке Национальной технологической инициативы (НТИ). Разработанный мультикатод позволяет одновременно получать множество электронных пучков, которые используются для нанесения рисунка на подложку в литографическом процессе.

Главный практический эффект — ускорение экспонирования всей пластины:

• •у традиционного однолучевого литографа на это может уходить до 2 недель;
• •многолучевая схема выполняет ту же задачу за 5–7 минут.

Технический результат

По словам главного разработчика проекта Евгения Гиваргизова, команде уже удалось получить массивы источников электронных пучков с очень малым радиусом закругления вершины.

«массивы источников электронных пучков с радиусом закругления вершины всего 1,5–2 нм, что является одним из лучших результатов в мире»

Такие параметры важны для формирования стабильных и точных электронных лучей, которые и лежат в основе электронно-лучевой литографии.

Чем подход отличается

Разработчики утверждают, что отечественная схема оказалась эффективнее западных решений. Ставка сделана на несколько независимых источников электронов, а не на сложные оптические системы, где один луч приходится расщеплять с помощью большого числа зеркал.

Именно этот архитектурный выбор, по данным авторов проекта, позволяет упростить систему и одновременно повысить ее эффективность. Если технология дойдет до полноценного литографа, это может стать важным шагом для ускорения производства структур, создаваемых методом электронно-лучевой литографии.