Китай запустит собственные DUV-сканеры
Григорьев Арсений АндреевичКитайская полупроводниковая отрасль получила первый собственный шаг к независимости в литографии глубокого ультрафиолета. По данным источника, секретная компания с государственным финансированием уже готова поставить DUV-сканеры собственного производства CXMT, SMIC и другим заказчикам.
Что известно о поставках
В этом году заказчикам планируют передать пять таких сканеров, а в следующем — ещё 20. Речь идёт о DUV-оборудовании китайской разработки, которое пока уступает решениям ASML по качеству, но уже считается значимым прорывом для местной индустрии.
Почему это важно
DUV-литография остаётся ключевой технологией для выпуска современных чипов. Иммерсионный вариант позволяет делать элементы по 28-нм техпроцессу за один цикл экспозиции.
- •Более тонкие нормы возможны за счёт многократного нанесения рисунка
- •Такой подход позволяет добиваться уровня 7 нм
- •При этом растёт число ошибок совмещения слоёв
- •Из-за этого снижается выход годных изделий
Контекст для рынка
Для Китая собственные DUV-сканеры — это не полный отказ от импорта, а попытка сократить зависимость от ASML и укрепить локальную цепочку поставок. На фоне ограничений в поставках передовые литографические системы становятся одним из самых чувствительных элементов гонки за полупроводниковую автономию.
А пока Китай наращивает независимость в чипостроении, можно присмотреться к Maxsun MS-iCraft B850 AIGA — тут тоже AM5, DDR5 и до 8400 МГц памяти: mediaark.pro/go/Y1Ix-lI










