В Москве сделали свою установку для выпуска чипов

Техника11:38, 19.08.20260

Григорьев Арсений Андреевич

В Москве создали электростатический стол для производства чипов — узел, который нужен при травлении кремниевых пластин. Установка удерживает пластины бесконтактно, что помогает избежать загрязнения в одном из самых чувствительных этапов полупроводникового производства.

Что разработали

Речь идет об электростатическом столе, который используется для фиксации кремниевых пластин при травлении. В отличие от механического контакта, такой способ удержания снижает риск загрязнения поверхности пластины.

Ранее оборудование этого класса поставлялось из-за рубежа. Российскую версию, по словам разработчиков, создали с нуля: от чертежей до производства и последующего обслуживания.

На какой стадии проект

Разработку выполнила компания «ЭСТО». Как сообщил представитель компании Данил Челапкин, первое изделие уже работает в импортном оборудовании.

Первое изделие уже функционирует в импортном оборудовании, поступают заказы, формируется портфель контрактов. Появилась новая статья выручки, которой раньше не было. Это позволяет не только обеспечивать потребности рынка, но и снижать себестоимость, повышая конкурентоспособность и качество.

Почему это важно

Электростатический стол — не вспомогательная деталь, а специализированный компонент для технологического оборудования в микроэлектронике. Его локальная разработка означает появление отечественной альтернативы узлу, который раньше зависел от зарубежных поставок.