LG вывела на рынок безмасочную лазерную литографию

LG начала коммерческие поставки систем лазерной литографии LDI, которые формируют рисунок схемы на пластинах без фотошаблонов. Для рынка это важный шаг: отказ от масок убирает один из самых дорогих и негибких элементов классического литографического процесса.

Что умеет новая система

Установка LG использует ультрафиолетовый лазер с длиной волны 405 нм и массив микрозеркал DMD. Такая связка позволяет напрямую выжигать элементы на подложке без промежуточного этапа с фотошаблонами.

По данным компании, система поддерживает формирование структур размером от 1,5 до 3 мкм.

• •безмасочная экспозиция
• •405-нм УФ-лазер
• •DMD-массив микрозеркал
• •элементы от 1,5 до 3 мкм

Ключевое отличие

Главным новшеством LG называет систему компенсации Real-Time Active Compensation. Она в реальном времени устраняет деформации материалов во время процесса, что особенно важно при работе с крупными заготовками.

За счет этой технологии установка может обрабатывать подложки размером до 600 × 600 мм. Для безмасочной литографии это критично, поскольку точность рисунка зависит не только от оптики, но и от стабильности самой заготовки.

Где такие машины будут востребованы

LG планирует применять LDI-системы в продвинутой упаковке чипов. Этот сегмент включает технологии, где особенно важны точное нанесение рисунка и возможность быстро менять топологию без изготовления новых фотошаблонов.

Еще одно заявленное направление — производство памяти HBM, которая используется вместе с ИИ-ускорителями. Рост спроса на такие ускорители подталкивает и спрос на технологии, связанные с упаковкой и межсоединениями, где безмасочная литография может дать производителям больше гибкости.